“4nm”工艺下半年量产 Intel的EUV光刻机正式安装:10亿一台

2022-04-10 0 401

根据Intel之前公布的路线图,Intel 4工艺会是他们首个使用EUV光刻机的工艺,下半年量产,他们从ASML购买的EUV光刻机现在正式开始在爱尔兰的工厂安装,这是Intel第二个、欧洲首个EUV工艺晶圆厂。

Intel前几年就在爱尔兰的Fab 34晶圆厂投资70亿美元升级,主要是为Intel 4工艺准备的,原先该工艺是7nm,去年改名之后就等效于其他厂商的4nm EUV工艺了,也是Intel首个使用EUV光刻机的工艺。

今年1月底,Intel就在Fab 34晶圆厂安装了光刻胶显影设备(lithography resist track),不过它还不是真正的EUV光刻机,现在才开始安装EUV光刻机,要为下半年的量产做准备了。

根据Intel公布的视频,目前约有100多名ASML的工程师进驻工厂协助安装,同时Intel也从美国俄勒冈州的工厂中派来了工程师培训爱尔兰当地的员工,教导他们使用EUV光刻机。

Intel没有公布这款光刻机的具体型号,不过ASML最新的EUV光刻机超级贵,均价10亿元左右,先进工艺晶圆厂的投资都是几十亿美元甚至上百亿美元级别的。

Alder Lake 12代酷睿、Raptor Lake 13代酷睿都是Intel 7工艺(10nm ESF),Meteor Lake 14代酷睿和代号Granite Rapids的下下代至强都将用上Intel 4工艺,今年下半年就要量产,不过14代酷睿上市还要到2023年。

“4nm”工艺下半年量产 Intel的EUV光刻机正式安装:10亿一台

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